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藍寶石和碳化硅品質提升解決方案 >> 平整度精確檢測解決方案
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平整度檢測方案
平整度是晶片很重要的參數，直接決定了片子合格與否，檢測平整度的方法很多，但目前看來國際還是依托于SEMI標準。參數的定義，檢測的精度都是需要認真考慮的。
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